반도체 업종 HFCs 소비량 산정방안 연구용역
1. 연구배경 ㅇ 제2종 특정물질(HFCs) 규제 시행에(‘23.4.19) 따라 반도체 업종의 특성을 반영한 감축 방안 마련 및 관련 고시 개정 필요성 대두 - 해외 주요국(미국, 일, 유럽 등)에서 반도체 제조용 원료*로 사용되는 HFCs는 사전 확인을 통해 제조 허가·수입 非승인(할당) 대상 * 반도체 제조용 원료로 파괴되는 잔여가스, 반응, 제해(스크러버)에 투입되는 HFCs 해당 ㅇ 반도체 공정에서 수소불화탄소는(HFCs) 식각용으로 주로 사용 - 반도체 제조용 원료로 파괴되는 잔여 가스, 반응, 제해(스크러버) 투입 HFCs(HFC-23, HFC-32, HFC-236ea, HFC-125, HFC-I41) 2. 연구범위 ㅇ 국외 주요국의 반도체 제조용 HFCs 특정물질 제조⋅수입량, 소비량 ..
